냉각탑은 냉수 시스템이 열부하의 주요 원인인 반도체 공장의 주요 열 차단원입니다. 이러한 연결은 다른 중요한 지원 자산(예: 공조기 및 컴프레서, 공정용 진공 및 공정 냉각수)에도 영향을 미칩니다. 개방형 시스템인 냉각탑은 냉각 장치의 효율을 저하시킬 수 있는 공기 중 오염 물질에 노출되기 쉽습니다. 적절한 시스템 관리는 반도체 공장의 효율성과 가동 시간을 위해 매우 중요합니다.
마이크로일렉트로닉스 생산의 신뢰성 및 생산성 향상
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냉각수 시스템
- Approach 온도를 설계 제조업체 사양 이하로 유지해야 하는 도전 과제가 있으신가요?
- 물, 에너지, 폐기물, 비용 및/또는 위험 감소를 정량화하는 데 사용할 수 있는 툴에 대해 만족하지 못하고 계신가요?
- 어떻게 하면 다양한 수질을 고려하면서도 사용 가능한 중수도원을 가장 잘 사용할 수 있을지에 관해 어려움을 겪고 계신가요?
당사의 3D TRASARTM 냉각수용 기술은 사양을 벗어난 상황을 감지하고 올바른 대응을 결정하며 운영 및 비용 효율성을 이루도록 돕습니다. 3D TRASAR 프로그램은 반도체 공장이 회수된 공정용 헹굼수를 냉각탑을 보충하는 데 사용하고, 경우에 따라서는 자산 보존을 지원하는 동시에 냉각탑의 원수 사용을 없앨 수 있게 합니다.
냉각수용 3D TRASARTM 프로그램 사용을 고려해야 할 추가적인 이유:
- 스케일 및 파울링 제어로 에너지 소비 최소화
- 최적화된 농축 사이클로 물 사용 최소화
- 성능 대시보드를 통해 실시간 시스템 데이터 확인
- 24/7/365 모니터링을 통한 운영의 편안함
- 일례로, 첫 해에 7.2백만 갤런의 물이 절약되어 $115,000에 가까운 총 운영 비용(TCO)이 절감되었습니다.
Nalco Water 여과 시스템은 허용 오차가 작은 냉각수 시스템에서 시스템 침전물을 최소화하여 냉각수 공급을 보장합니다.
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보일러 시스템
일부 반도체 공장의 경우 증기 발생 장비가 공정에 필요한 열 에너지를 제공합니다. 이러한 시스템은 뜨거운 UPW 및 2차 온수 공정을 위한 공조기 및 열교환기를 포함한 다양한 자산에 영향을 미칩니다.
- 물과 에너지 절약을 위한 잠재적인 기회로 이러한 시스템을 고려해보신 적이 있나요?
- 보일러 배관 교체가 필요한 조기 고장을 경험한 적이 있으신가요?
- 보일러를 최저 총 비용으로 운영할 수 있게 해 주는 새로운 수처리 모니터링 툴의 이점을 누리고 싶으신가요?
3D TRASARTM 보일러용 기술 프로그램은 경쟁 우위를 개선하고 총 운영 비용을 최적화하도록 설계되었습니다. 토털 시스템 접근 방식을 통해 신뢰할 수 있고 안전하며 비용 효율적인 증기를 생산하도록 도와드립니다.
날코워터와 협력해야 하는 추가적인 이유:
- 스팀 보일러, 산소 제거제, 내부 처리제, 응축수 부식 방지제용
- 실시간 내부 처리 및 보일러 이전 시스템 부식을 모니터링하고 제어하는 기술
- 운영 및 환경적 필요에 맞는 프로그램으로 증기 시스템 보호
- 연료, 물 절약 및 자산 수명 연장을 통한 상당한 투자 수익 가능성
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온수 시스템
일부 반도체 공장의 경우 온수 시스템이 공정에 필요한 열 에너지를 제공합니다. 이러한 시스템은 뜨거운 UPW 및 2차 온수 공정을 위한 공조기 및 열교환기를 포함한 다양한 자산에 영향을 미칩니다.
- 물과 에너지 절약을 위한 잠재적인 기회로 이러한 시스템을 고려해보신 적이 있나요?
- 열교환기 청소 또는 교체가 필요한 조기 고장을 경험한 적이 있으신가요?
- 온수 시스템을 최저 총 비용으로 운영할 수 있게 해 주는 새로운 수처리 모니터링 툴의 이점을 누리고 싶으신가요?
당사는 반도체 공장 온수 시스템에서 스케일과 부식 제어를 강조함으로써 신뢰할 수 있는 생산 환경을 보장하도록 돕습니다.
날코워터와 협력해야 하는 추가적인 이유:
- 경우에 따라 3D TRASARTM 기술은 전도성, 부식률, 유압 손실 및 pH를 비롯한 중요한 물 매개변수에 대한 공정 관련 실시간 가시성을 제공하는 데 사용될 수 있습니다.
- TRAC 온수 프로그램은 폭넓은 야금 관리를 위한 우수한 부식 제어를 보장합니다
- 연료, 물 절약 및 자산 수명 연장을 통한 상당한 투자 수익 가능성
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에어 핸들러
공조 시스템은 특정 온도와 상대습도에서 신선한 공기를 공급합니다. 설정값에서 조금만 벗어나도 제품 품질에 큰 영향을 미칠 수 있습니다. 신뢰할 수 있고 효율적인 공조 시스템이 없는 경우 가동 시간에 영향을 미칠 수 있으며 가동 중지 시간에 따른 비용이 높아집니다.
- 목표 온도 및 상대습도 설정값을 안정적으로 유지할 수 있으신가요?
- 하절기에 현장 전체의 수요를 충족시키기 위해 적절한 냉수 용량을 유지해야 하는 데 어려움이 있으신가요?
- 코일 청소 프로그램으로부터 에너지 절약을 정확하게 측정하고 문서화할 수 있으신가요?
당사의 COIL-FLO 코일 청소 프로그램은 코일 효율성과 공기 품질을 개선하여 더 많은 공기 흐름과 더 시원한 공기를 제공합니다.
공조기에 COIL-FLO를 고려해야 하는 추가적인 이유:
- 공조기 에너지 비용을 최소화할 수 있게 함
- 필터 수명을 최적화하여 필터 교체 비용을 줄일 수 있게 함
- 에너지 절약에 대한 데이터 기반 문서화
- 숙련된 전담 기술자가 청소 수행
- COIL-FLO는 한 반도체 공장이 연간 1.22백만kWh($117,900 USD 상당)를 절약하도록 도왔습니다.
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스크러버
스크러버는 공정용 배기 흐름에서 오염 물질을 제거하여 환경 규정 준수 및 환경 보호를 지원합니다. 고농축 가스 스트림에는 전용 사용 시점(POU) 스크러버가 있을 수도 있습니다. 충전물의 미생물막 및 스케일을 최소화하는 것은 스크러버의 성능을 위해 매우 중요합니다.
- 스크러버에 대한 계획되지 않은 유지보수가 성능에 영향을 주나요?
- 스크러버 성능의 정확한 추세를 파악하고 모니터링하는 데 어려움이 있으신가요?
- 현장의 수질 관리 계획에 스크러버가 포함되어 있는지에 대해 불확실하게 느껴지시나요?
당사의 수처리 프로그램은 스케일 및 미생물 퇴적을 제어하여 반도체 공장의 효율적인 스크러버 성능 및 환경 준수를 보장하는 데 도움이 됩니다.
스크러버 수처리를 위해 Nalco Water와 협력해야 하는 추가적인 이유:
- 당사의 프로그램은 효율적인 에어 스크러버 작업을 지원합니다
- 계획에 없는 유지보수를 방지할 수 있게 합니다
- 스케일 및 미생물 퇴적의 위험을 최소화할 수 있게 합니다
- 자동 화학 처리 프로그램으로 인간 건강과 안전을 지원합니다
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반도체 공장 및 하부공간
독립형 OEM 냉각 회로는 반도체 공장 전체의 다양한 생산 공정에서 발생하는 열을 제거합니다. 이러한 폐쇄 루프 시스템은 종종 엄격한 수질 사양을 요구합니다. 부적절한 수질 관리는 계획에 없었던 가동 중단 시간 및 값비싼 자산의 손상으로 이어질 수 있습니다.
- 반도체 공장 엔지니어 또는 툴 오너가 툴 성능에 영향을 미치는 공정 관련 문제를 보고한 적이 있나요?
- 일반적인 반도체 공장 작동 조건을 벗어난 특정한 툴 냉각 요구 사항이 있으신가요?
- 툴 오류를 경험하게 되는 경우, 그 근본 원인을 적절하게 식별할 수 있는 분석 능력이 있으신가요?
당사의 공정에 중요한 폐쇄 루프(PCCL)를 위한 프로그램은 반도체 툴 생산업체가 높은 가동 시간 레벨을 보장하고 툴의 냉각수 회로 내부의 문제를 방지할 수 있게 해 줍니다.
독립형 냉각 회로를 보호하기 위해 Nalco Water와 협력해야 하는 추가적인 이유:
- 전사적으로 일관된 분석을 지원
- 글로벌한 전사적 배포 기능
- 도구별 수처리 솔루션
- 자동 화학 처리 프로그램으로 인간 건강과 안전을 지원합니다
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공정 냉각수
공정 냉각수(PCW) 시스템은 생산 공정에서 안정적으로 열을 제거하므로 생산에 필수적인 요소입니다. 효율적으로 작동하는 PCW 시스템은 값비싼 생산 자산을 보호하고 가동 시간을 보장할 수 있게 해 줍니다.
- 반도체 공장 엔지니어가 유량 관련 문제, 툴 오류 또는 오염된 유량계에 대한 우려를 보고하나요?
- 귀사의 엔지니어에게 PCW 루프가 반도체 공장의 기대에 따라 수행되고 있는지 관리하고 검증할 수 있는 툴이 부족한가요?
- 반도체 공장 툴을 추가하거나 재구성할 때 발생하는 PCW 시스템 중단을 감지하는 데 어려움이 있으신가요?
냉각수 시스템의 스케일, 부식 및 미생물 제어에 대한 당사의 전문성은 신뢰할 수 있는 제조 환경을 보장하는 수자원을 보호하는 데 도움이 됩니다.
PCW 처리를 위해 Nalco Water와 협력해야 하는 추가적인 이유:
- 3D TRASARTM 냉각수 기술은 전도도, 부식 위험, 유압 손실 및 pH를 비롯한 중요한 공정 용수 관련 매개변수에 대한 실시간 가시성을 제공합니다.
- TRAC 냉각수 프로그램은 광범위한 전도도 요구 범위에 걸친 폭넓은 야금 관리를 위한 우수한 부식 제어를 보장합니다.
- Nalco Water 여과 시스템은 허용 오차가 작은 냉각수 시스템에서 시스템 침전물을 최소화하여 냉각수 공급을 보장합니다.
- 냉각수용 3D TRASARTM 기술을 사용하여 한 반도체 공장에서 연간 물 사용량 1090만 갤런(4130만 리터)을 줄이고 PCW 시스템에서 아졸 배출량을 64% 줄일 수 있었습니다
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공정용 진공
공정용 진공(PVAC) 시스템은 신뢰할 수 있는 웨이퍼 처리를 가능하게 하는 특정한 툴 상태를 보장합니다. PVAC 시스템의 열 차단에는 효율적인 열 전달이 필요합니다. 이 영역에서 수질 관리가 부적절하게 이루어질 경우 운영 성과 및 장기적인 자산 수명에 손상을 불러올 가능성이 있습니다. 심각한 경우에는 계획에 없었던 고비용의 가동 중단이 발생할 수 있습니다.
- 씰(seal) 수온을 모니터링하고 있으신가요? 만약 그렇다면, 고온 경보를 경험해보신 적이 있나요?
- 귀사의 PVAC 열교환기는 설계 성능을 복원하기 위해 유지보수 청소가 필요한가요?
- 귀사의 프로그램 접근 방식과 모니터링 툴이 PVAC 시스템의 성과를 최대화하기에 부적절하다고 우려하고 계신가요?
저희는 기계적, 운영적, 화학적 접근 방식을 사용하여 현장에서 PVAC 문제를 해결합니다. 당사의 숙련된 직원들은 근본적인 원인이 되는 미생물 및 부식 분석을 포함한 광범위한 실험실 분석 및 현지 분석 자원의 지원을 받습니다.
PCW 수질 관리를 위해 Nalco Water와 협력해야 하는 추가적인 이유:
- 이콜랩은 맞춤형 PVAC 처리 프로그램을 통해 한 반도체 공장이 돌발적인 정비 발생을 95% 이상 줄이고 시스템 용수 철분치를 97% 줄여 연간 $85,700를 절약하도록 도왔습니다.
- 저희가 함께 개발하는 프로그램에는 원하는 결과를 달성하고 문서화할 수 있도록 실행을 구현하고 추적할 수 있게 하는 반도체 공장 직원 교육이 포함됩니다.
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냉수 시스템
냉수는 중앙 유틸리티 건물과 반도체 공장의 나머지 부분 사이의 핵심 연결 고리입니다. 냉각 장치는 종종 반도체 공장에서 두 번째로 큰 에너지를 소비합니다. 이러한 시스템은 공조기, PCW, 에어 컴프레셔, 공정 진공 시스템 등을 포함한 다양한 자산에 영향을 미칩니다.
- 현재의 계획 및 모니터링 툴을 사용하여 냉수 시스템의 미사용 관 및 저유량 구역을 적절하게 관리할 수 있는 능력에 대해 우려하고 계신가요?
- 파울링이나 튜브 막힘으로 인한 냉각 장치 성능 저하로 인해 여유량을 유지하는 데 어려움을 겪고 계신가요?
- 귀사의 장비가 지정된 부하 조건에 대해 정격 용량으로 작동하는지 확인하기 위해 냉각 장치 효율성 연구를 완료하셨나요?
당사는 반도체 공장 냉각수에서의 스케일, 부식 및 미생물 제어에 중점을 두어 신뢰할 수 있는 제조 환경을 보장할 수 있게 합니다.
날코워터와 협력해야 하는 추가적인 이유:
- 3D TRASARTM 냉각수 기술은 전도도, 부식률, 유압 손실 및 pH를 비롯한 수자원 관련 중요 매개변수 등 공정 관련 실시간 가시성을 제공합니다.
- TRAC 냉각수 프로그램은 광범위한 전도도 요구 범위에 걸친 폭넓은 야금 관리를 위한 우수한 부식 제어를 보장합니다.
- Nalco Water 여과 시스템은 냉각수 시스템의 침전물을 최소화하여 일관되고 안정적인 냉각수 공급을 지원합니다.
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폐수
마이크로일렉트로닉스 공장은 상당한 양의 폐수를 생성합니다. 적절한 처리 전략을 선택하려면 반도체 공장의 총 물 발자국에 반영되는 안전, 규정 준수, 신뢰성 및 비용 등의 모든 고려 사항들 사이에서 균형을 맞춰야 합니다. 적절한 처리를 통해 폐수의 대부분을 다른 용도로 재사용할 수 있습니다.
- 귀사의 폐수 처리 공정이 공장의 생산 능력을 최대화하는 데 걸림돌이 되고 있나요?
- 현재의 폐수 처리 프로그램은 고급 제조 공정 및/또는 점차 강화되고 있는 배출 제한규제로 인한 변동을 수용할 수 있나요?
- 귀사의 폐수 처리 접근 방식이 귀 반도체 공장의 물 관련 지속가능성 목표의 변화에 부응했다고 생각하시나요?
당사는 후처리에 관한 전문성을 기반으로 반도체 공장 폐수 속의 중금속 및 불소를 제어하여 규정 준수를 지원하고 운영 비용을 최적화하는 데 도움을 드립니다
날코워터와 협력해야 하는 추가적인 이유:
- 3D TRASARTM 폐수용 기술 프로그램은 가장 낮은 총 운영 비용으로 환경 규정을 준수하도록 지원합니다
- 특정 폐수 문제에 대한 DBOOM 기능(설계, 구축, 소유, 운영 및 유지 관리)
- NalmetTM 중금속 제거 프로그램은 개선된 수생 독성 레벨로 킬레이트 금속 흐름을 처리합니다.
- 최적화된 슬러지 탈수로 처리 비용 최소화
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초순수(UPW)
초순수(UPW)는 공정용 케미컬을 웨이퍼로 전달하고 칩 제조 공정 전체에서 웨이퍼를 헹구는, 반도체 공장의 생명줄과 같은 요소입니다. 고급 기술 노드는 UPW 시스템의 운영 효율성과 신뢰성을 지속적으로 개선해야 합니다. 이러한 맥락에서 UPW 신뢰성을 위한 화학 물질(예: 스케일 방지제, 세정제 및 미생물 프로그램)을 관리하고 제어하는 것이 훨씬 더 중요해집니다. 적절하게 설계된 처리용 케미컬 프로그램을 통해 시스템 신뢰성, 물/에너지 효율성, 자산 수명 및 총 운영 비용의 균형을 맞출 수 있습니다.
당사의 PermaCareTM 제품군 및 제어 기술은 RO 문제를 방지하고 고품질 투과를 보장합니다.
날코워터와 협력해야 하는 추가적인 이유:
- 고효율의 스케일 방지제는 파울링 및 가동 중지 시간을 유발하는 멤브레인 축적으로 인한 미네랄 침전물을 방지합니다
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3D TRASARTM 멤브레인용 기술은 다음과 같은 기능을 제공합니다.
- • 정확한 스케일 방지제 투여
- • 산화제 스파이크에 대한 멤브레인 방어
- • 최적화된 회수율 및 청소 일정
- 특별 제조 세척제 및 살생물제로 미네랄 스케일, 불용성 스케일, 유기 오염, 미생물 잔류물 제거
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수인성 전염병 위기 관리
반도체 공장의 많은 수성 유틸리티는 레지오넬라균 등의 수인성 병원체에 대한 잠재적 위험을 수반합니다. 직원을 위한 안전한 작업 환경을 유지하는 것은 마이크로일렉트로닉스 산업에서 아주 중요합니다. 수인성 병원체 관련 위험성을 모니터링하고 완화하기 위한 포괄적인 관리 계획을 마련하는 것은 직원과 지역사회의 안전을 지원하는 일입니다.
- ASHRAE 표준 188 지침에 부합하는 수자원 위기 관리 프로그램을 개발하고 구현하셨나요?
- 귀사 시설의 어떤 시스템이 수인성 병원체 관련 위험성을 가지고 있는지, 그리고 이러한 위험을 어떻게 관리해야 하는지 파악하고 계신가요?
- 귀사의 수자원 위기 관리 계획은 예방적 유지보수, 모니터링 및 필요한 경우 개선을 할 수 있는 명확한 프로토콜과 더불어 작업자 보호를 보장하는 데 명백히 도움이 되나요?
저희는 수인성 병원체 위기 관리에 대한 전체론적 접근 방식을 제공하며 여기에는 분석적 모니터링, 장기 통제 전략 및/또는 필요에 따라 단기적인 해결 방안 및 비상 서비스가 포함될 수 있습니다.
날코워터와 협력해야 하는 추가적인 이유:
- 당사는 전 세계 그 어느 조직보다 더 많은 레지오넬라균 분석을 수행합니다. 저희는 30년 이상의 경험을 쌓아혼 물 안전 분야의 글로벌 전문가입니다.
- 온라인 냉각탑 소독: 당사의 고도로 훈련되고 인증된 서비스 엔지니어가 6시간 이상 동안 운영 시스템을 소독한 후, 시스템을 안전하게 정상 작동 상태로 되돌립니다
- 오프라인 탑 소독: 당사의 인증된 서비스 엔지니어가 탑 데크, 팬 하우징 구역, 분배 노즐, 탑 충전물 및 집수지에 대한 완전한 물리적 청소를 수행합니다
- 검사 및 인증: Nalco Water는 OSHA 기술 매뉴얼(섹션 III: 제7장, 재향군인병)에 게시된 지침에 따라 인증받았습니다
- 전 세계적으로 구현된 15,000개 이상의 냉각탑 수질 관리 계획을 통해 당사는 귀사의 운영에 적합하고 ASHRAE 표준 188를 준수하는 계획을 개발하도록 도와드릴 수 있습니다
대화창 시작. '분석 지원'이라는 헤더로 시작됩니다. Esc는 창을 닫게 됩니다.
분석 지원
고급 생산 공정에는 심층적인 분석 지원 역량을 갖춘 파트너가 필요합니다. 포괄적인 기술 서비스를 통해 근본 원인 분석을 지원하고 제품 품질, 운영 효율성 및 지속 가능성을 지원하는 올바른 솔루션을 결정하는 데 도움을 줍니다.
- 귀사의 분석 데이터 세트가 시스템 건강에 중요한 매개변수에 초점을 맞추고 있다고 확신하시나요?
- 확실한 근본 원인 분석을 수행하는 데 필요한 기술 자원을 활용할 수 있으신가요?
- 물 관련 문제가 발생했을 경우 확실하고 정확하게, 반복적으로, 분석 정보를 구체적인 조치로 전환할 수 있으신가요?
당사의 글로벌 분석 지원은 빠르고 철저한 문제 해결을 가능하게 합니다. 분석 랩 서비스에는 다음과 같은 항목이 포함됩니다.
- 수질 분석(초순수(UPW), PCW, 폐수, 냉각수, 재생수)
- 미생물 분석
- 퇴적물 분석
- 실패 분석(금속조직학)
- 역삼투압(RO) 멤브레인 세부 검사
- 부식 시편 분석
이러한 유형의 분석은 반도체 공장이 다음과 같은 주제에 대해 신속하고 현명한 결정을 내리는 데 도움이 될 수 있습니다.
- 생산에 영향을 미치는 PCW 문제 해결
- 새로운 수원을 냉각수 보충수로 회수하여 물 소비와 물발자국을 절감
- RO 시스템 성능 최적화
